Kaydon Reali-Slim? 軸承可供定制和優化，以大程度地減少摩擦、排氣、污染、腐蝕甚至磨損，而不會影響精度。特殊的可選材料和潤滑劑可允許高于250°C的工作溫度、10 -8至 10 -12 Torr 的真空水平、減少顆粒物的產生以及對腐蝕性化學環境的耐受性。混合軸承可以邊緣潤滑應用的扭矩特性并延長使用壽命。
Kaydon擁有工程專業知識為硅芯片制造過程中的每個步驟開發精密軸承解決方案。從機器人到機械拋光機再到光刻設備，Kaydon Reali-Slim? 薄截面軸承為更小、更輕、更簡單的旋轉設備提供了節省空間的設計。可以添加護罩或密封件，而不會增加軸承空間要求。密封件通常用于真空和其他潔凈環境。由于護罩并未完全接觸內圈，因此不會產生扭矩損失或顆粒生成。
Kaydon雙聯軸承組件是高速、平滑扭矩應用的理想解決方案。雙相軸承具有一個公共座圈，具有兩個同時磨削并一起“跳動”的軸承路徑。這種設計有助于消除因軸向跳動變化而引起的潛在附加扭矩。Kaydon盒式軸承組件使這種設計更進一步，具有單個外滾道和單個內滾道，可提供扭矩性能。與雙聯軸承一樣，這種設計消除了使用雙聯角接觸軸承時可能導致的潛在對準和方向安裝錯誤。
軸承
Reali-Slim? 薄壁軸承
雙聯軸承組件
盒式軸承組件
定制軸承
特點和優點
薄截面
在空間有限的應用中，Reali-Slim 薄截面軸承提供非常緊湊的設計。
輕質
Reali-Slim 薄截面軸承可以顯著減輕重量，從而節省整個應用的成本。
低摩擦
高剛度
運行精度高
應用領域
檢驗設備
晶圓探針臺
濺射設備
晶圓傳輸系統
點膠
拾取和放置機器人
測量系統
測試頭
劃片設備
研磨設備
真空沉積系統
晶圓步進機
探針臺
晶圓修整器
晶圓洗滌器
晶圓拋光機
薄膜沉積系統
CVD系統
蝕刻系統
機械拋光機
常壓及真空輸送
機器人
測試頭
機械手
兆聲波清洗系統
旋轉烘干機
光刻法
機械拋光機
芯片焊接機
